Система MOCVD от AIXTRON сертифицирована компанией AMS OSRAM, что ускоряет массовое производство Micro LED
全球领先的光学解决方案供应商艾迈斯欧司朗和半导体行业沉积设备领先供应商爱思强近日联合宣布，200mm晶圆AIXTRON G5+ C和G10-AsP系统已获得艾迈斯欧司朗的认证，可用于满足Micro LED应用需求。
Системы MOCVD от AIXTRON: AIX G5+ C и новая G10-AsP обеспечивают технологию Planetary Technology (технология горизонтального вращения с плавающими спутниками), прокладывая путь для дисплеев Micro LED следующего поколения с высоким разрешением.
По сообщениям, еще в первом квартале 2022 года компания AMS OSRAM объявила о плане расширения производственных мощностей для пластин диаметром 200 мм, обеспечив производство светодиодов и Micro LED на своем существующем заводе в Малайзии. Ожидается, что системы MOCVD помогут достичь массового производства Micro LED, создав дисплеи нового поколения.
Роберт Фойрле, исполнительный вице-президент и руководитель бизнеса полупроводников оптоэлектроники в компании OSRAM заявил:
Epiq и AMS OSRAM поддерживают долгосрочное партнёрство; мы знакомы с производительностью и стандартами качества их оборудования. Для сложных проектов, таких как разработка и производство Micro LED для устройств на основе AsP и GaN, Epiq — именно тот партнёр, который нам нужен.
доктор Феликс Граверт, генеральный директор и президент компании Cree Inc., добавил :
Продукты G10-AsP и AIX G5+ C успешно прошли Сертификацию от OSRAM, что стало очень важным вехой в истории нашей компании. OSRAM является ведущим мировым производителем светодиодов (LED) и полностью способна вывести на рынок новую фундаментальную технологию. Мы стоим перед кардинальным переходом от традиционных технологий отображения к новым технологиям отображения Micro LED. Сегодня Aixtron входит на огромный рынок будущего роста и имеет идеального партнера для совместного движения вперед.
Технология Micro LED обладает значительными преимуществами, такими как более высокая плотность пикселей, более длительный срок службы, более высокая яркость, более быстрое время переключения и более широкий цветовой охват , что ещё больше продвигает технологии отображения. Низкое энергопотребление также является важным преимуществом, делающим технологию Micro LED идеальной для потребительской электроники следующего поколения с меньшими дисплеями, где обычно очень ограниченное пространство для батарей.
Micro LED имеет особые производственные требования: его процесс массового производства включает специальный этап пакетной переноски, где тысячи светодиодных кристаллов (матриц) микронного размера извлекаются и размещаются. Любой дефект может привести к некрозу пикселей, делая всю матрицу непригодной для использования. Поэтому необходимо использовать почти безупречный процесс эпитаксии для минимизации дефектов, обеспечения высокой доли годных изделий и экономически целесообразного производства Micro LED.
Согласно представлению, новый инструмент для эпитаксии G10-AsP от компании Aixtron был тщательно разработан для удовлетворения особых потребностей данного применения. Этот совершенно новый инструмент является первым в мире полностью автоматическим реактором AsP, обеспечивающим полностью автоматическую загрузку пластин «кассета в кассету» (cassette-to-cassette) и механизм очистки на основе инситуационного травления. Сочетание этих двух характеристик окажет значительное влияние на выход годных изделий.
Кроме того, технология периодических реакторов приносит множественные преимущества системе Aixtron: её стоимость производства на одну пластину является одной из самых низких на текущем рынке, а производительность на единицу площади чистой комнаты находится на самом высоком уровне. В то же время этот новый инструмент обладает функциями точного контроля потока и температуры, обеспечивая отличную однородность материала при непрерывной работе.
Источник: ams OSRAM