Sistema MOCVD da AIXTRON certificado pela AMS OSRAM, acelerando a produção em massa de Micro LED
全球领先的光学解决方案供应商艾迈斯欧司朗和半导体行业沉积设备领先供应商爱思强近日联合宣布，200mm晶圆AIXTRON G5+ C和G10-AsP系统已获得艾迈斯欧司朗的认证，可用于满足Micro LED应用需求。
Os sistemas MOCVD da AIXTRON, AIX G5+ C e o novo G10-AsP, fornecem a tecnologia Planetary Technology (tecnologia de rotação horizontal flutuante estilo satélite planetário), abrindo caminho para ecrãs Micro LED de alta resolução de próxima geração.
Segundo informações, já no primeiro trimestre de 2022, a AMS OSRAM anunciou um plano para expandir a capacidade de produção de wafers de 200 mm, alcançando a capacidade de produção de LED e Micro LED em sua fábrica existente na Malásia. Espera-se que os sistemas MOCVD ajudem a alcançar a produção em massa de Micro LEDs, criando aplicações de exibição de nova geração.
Robert Feurle, Vice-Presidente Executivo e Responsável pelo Negócio de Semicondutores Optoeletrônicos da OSRAM declarou:
A Epiq e a AMS OSRAM mantêm uma parceria de longo prazo; estamos familiarizados com o desempenho e os padrões de qualidade de seus equipamentos. Para projetos desafiadores, como o desenvolvimento e produção de Micro LED para dispositivos AsP e GaN, a Epiq é exatamente o parceiro que precisamos.
o Dr. Felix Grawert, diretor executivo e presidente da Cree Inc., comentou :
G10-AsP e AIX G5+ C obtiveram com sucesso a Certificação da OSRAM, um marco muito importante na história da nossa empresa. A OSRAM é um fabricante líder mundial de LED, totalmente capaz de levar a nova tecnologia fundamental ao mercado. Estamos enfrentando uma grande transição das tecnologias de exibição tradicionais para as novas tecnologias de exibição Micro LED. Hoje, a Aixtron está entrando em um mercado de crescimento futuro com enorme potencial, e temos um parceiro ideal para avançar conosco.
O Micro LED oferece vantagens muito significativas, como maior densidade de pixels, maior vida útil, maior luminância, velocidades de comutação mais rápidas e uma gama de cores mais ampla , aprimorando ainda mais a tecnologia de exibição. O baixo consumo de energia é também uma vantagem importante, tornando a tecnologia Micro LED ideal para dispositivos eletrônicos de consumo de próxima geração com telas menores, que geralmente têm espaço muito limitado para baterias.
Micro LED possui requisitos especiais de produção: seu processo de produção em massa inclui uma etapa especial de transferência em lote onde milhares de chips LED (matrizes) de tamanho micrométrico são pick-and-place. Qualquer defeito pode levar à necrose do pixel, tornando toda a matriz inútil. Portanto, deve-se utilizar um processo de epitaxia quase sem erros para minimizar defeitos, suportar altas taxas de rendimento e viabilizar economicamente a produção de Micro LED.
De acordo com a apresentação, a nova ferramenta de epitaxia G10-AsP da Aixtron foi meticulosamente projetada para atender às necessidades específicas desta aplicação. Esta nova ferramenta é o primeiro reator AsP totalmente automático do mundo, oferecendo carregamento de wafers totalmente automático de «caixa a caixa» (cassette-to-cassette) e um mecanismo de limpeza baseado em gravação in situ. A combinação dessas duas características terá um impacto significativo no rendimento.
Além disso, a tecnologia de reatores em batelada traz múltiplas vantagens para o sistema da Aixtron: seu custo de produção por wafer está entre os mais baixos no mercado atual, enquanto sua produtividade por unidade de área de sala limpa é a mais alta. Ao mesmo tempo, esta nova ferramenta possui funções precisas de controle de fluxo e temperatura, mantendo excelente uniformidade do material durante a operação contínua.
Fonte: ams OSRAM