LED核心生产设备实现国产化

　　日前，上海市科委2010年度重大科技攻关项目“MOCVD生产性样机研制”通过验收。这标志着，LED半导体外延片和芯片的核心生产设备MOCVD已基本实现国产化，打破对进口产品的依赖，有助于我国半导体照明产业快速发展。

　　该项目主要由理想能源设备（上海）有限公司承担。通过2年攻关，现已成功开发出具有自主知识产权的MOCVD反应腔，在多项关键设备技术和工艺技术上取得重要突破。