Système MOCVD d'AIXTRON certifié par AMS OSRAM, accélérant la production de masse de Micro LED
全球领先的光学解决方案供应商艾迈斯欧司朗和半导体行业沉积设备领先供应商爱思强近日联合宣布，200mm晶圆AIXTRON G5+ C和G10-AsP系统已获得艾迈斯欧司朗的认证，可用于满足Micro LED应用需求。
Les systèmes MOCVD d'AIXTRON, AIX G5+ C et le nouveau G10-AsP, offrent la technologie Planetary Technology (technologie de rotation horizontale flottante de type satellite planétaire), ouvrant la voie aux écrans Micro LED haute résolution de prochaine génération.
Il est rapporté qu'au premier trimestre 2022, AMS OSRAM a annoncé un plan d'augmentation de la capacité de production pour les plaquettes de 200 mm, réalisant une capacité de production de LED et Micro LED dans son usine existante en Malaisie. Les systèmes MOCVD devraient permettre d'atteindre la production de masse de Micro LED, créant ainsi des applications d'affichage de nouvelle génération.
Robert Feurle, vice-président exécutif et responsable du secteur des semi-conducteurs optoélectroniques de OSRAM a déclaré :
Epiq et AMS OSRAM entretiennent une relation de partenariat à long terme ; nous connaissons les performances et les normes de qualité de leurs équipements. Pour des projets exigeants, tels que le développement et la production de Micro LED pour les dispositifs AsP et GaN, Epiq est exactement le partenaire dont nous avons besoin.
le Dr Felix Grawert, directeur général et président de Cree Inc., a ajouté :
Les produits G10-AsP et AIX G5+ C ont obtenu avec succès la Certification d'OSRAM, une étape très importante dans l'histoire de notre entreprise. OSRAM est un fabricant leader mondial de LED, pleinement capable de lancer cette nouvelle technologie fondamentale sur le marché. Nous faisons face à une transition majeure des technologies d'affichage traditionnelles vers les nouvelles technologies d'affichage Micro LED. Aujourd'hui, Aixtron entre sur un marché de croissance future au potentiel énorme, et nous avons un partenaire idéal pour avancer ensemble.
Le Micro LED offre des avantages très significatifs, tels que une densité de pixels plus élevée, une durée de vie plus longue, une luminance plus élevée, des vitesses de commutation plus rapides et une gamme de couleurs plus large , améliorant ainsi davantage la technologie d'affichage. La faible consommation d'énergie est également un avantage important, rendant la technologie Micro LED idéale pour les appareils électroniques grand public de nouvelle génération équipés d'écrans plus petits, qui ont généralement un espace très limité pour les batteries.
Micro LED présente des exigences de production spéciales : son processus de production de masse comprend une étape spéciale de transfert par lots où des milliers de puces LED (tableaux) de taille micrométrique sont prélevées et placées. Tout défaut peut entraîner la nécrose du pixel, rendant toute la matrice inutile. Par conséquent, un processus d'épitaxie presque sans erreur doit être utilisé pour minimiser les défauts, soutenir des taux de rendement élevés et permettre une production de Micro LED économiquement viable.
Selon les présentations, le nouvel outil d'épitaxie G10-AsP d'Aixtron a été méticuleusement conçu pour répondre aux besoins spécifiques de cette application. Cet outil entièrement nouveau est le premier réacteur AsP entièrement automatique au monde, offrant un chargement de plaques entièrement automatique de «boîte à boîte» (cassette-to-cassette) et un mécanisme de nettoyage basé sur une gravure in situ. La combinaison de ces deux caractéristiques aura un impact significatif sur le rendement.
De plus, la technologie des réacteurs par lots apporte plusieurs avantages au système Aixtron : son coût de production par tranche est parmi les plus bas du marché actuel, tandis que son débit par unité de surface de salle blanche est au niveau le plus élevé. En même temps, cet nouvel outil dispose de fonctions précises de contrôle du débit et de la température, maintenant une excellente homogénéité du matériau lors d'un fonctionnement continu.
Source : ams OSRAM