Sistema MOCVD de AIXTRON certificado por AMS OSRAM, acelerando la producción en masa de Micro LED
全球领先的光学解决方案供应商艾迈斯欧司朗和半导体行业沉积设备领先供应商爱思强近日联合宣布，200mm晶圆AIXTRON G5+ C和G10-AsP系统已获得艾迈斯欧司朗的认证，可用于满足Micro LED应用需求。
Los sistemas MOCVD de AIXTRON, AIX G5+ C y el nuevo G10-AsP, ofrecen la tecnología Planetary Technology (tecnología de rotación horizontal flotante tipo satélite planetario), allanando el camino para pantallas Micro LED de alta resolución de próxima generación.
Se informa que ya en el primer trimestre de 2022, AMS OSRAM anunció un plan para ampliar la capacidad de producción de obleas de 200 mm, logrando la capacidad de producción de LED y Micro LED en su fábrica existente en Malasia. Se espera que los sistemas MOCVD ayuden a lograr la producción en masa de Micro LEDs, creando aplicaciones de visualización de nueva generación.
Robert Feurle, Vicepresidente Ejecutivo y Responsable del Negocio de Semiconductores Optoelectrónicos de OSRAM declaró:
Epiq y AMS OSRAM mantienen una relación de colaboración a largo plazo; conocemos el rendimiento y los estándares de calidad de sus equipos. Para proyectos exigentes, como el desarrollo y producción de Micro LED para dispositivos AsP y GaN, Epiq es exactamente el socio que necesitamos.
el Dr. Felix Grawert, director ejecutivo y presidente de Cree Inc., añadió :
G10-AsP y AIX G5+ C han obtenido con éxito la Certificación de OSRAM, un hito muy importante en la historia de nuestra empresa. OSRAM es un fabricante líder mundial de LED, totalmente capaz de llevar la nueva tecnología fundamental al mercado. Estamos enfrentando una transición importante desde las tecnologías de visualización tradicionales hacia las nuevas tecnologías de visualización Micro LED. Hoy, Aixtron entra en un mercado de crecimiento futuro con gran potencial, y contamos con un socio ideal para avanzar juntos.
Micro LED ofrece ventajas muy significativas, como mayor densidad de píxeles, mayor vida útil, mayor luminancia, velocidades de conmutación más rápidas y una gama de colores más amplia , mejorando aún más la tecnología de visualización. El bajo consumo energético es también una ventaja importante, lo que hace que la tecnología Micro LED sea ideal para dispositivos electrónicos de consumo de próxima generación con pantallas más pequeñas, que suelen tener un espacio muy limitado para las baterías.
Micro LED tiene requisitos de producción especiales: su proceso de producción en masa incluye un paso especial de transferencia por lotes donde se colocan y recogen miles de chips LED (matrices) de tamaño micrométrico. Cualquier defecto puede provocar la necrosis de los píxeles, inutilizando toda la matriz. Por lo tanto, debe utilizarse un proceso de epitaxia casi sin errores para minimizar los defectos, apoyar altas tasas de rendimiento y permitir una producción de Micro LED económicamente viable.
Según la presentación, el nuevo equipo de epitaxia G10-AsP de Aixtron ha sido cuidadosamente diseñado para satisfacer las necesidades específicas de esta aplicación. Esta herramienta completamente nueva es el primer reactor AsP totalmente automático del mundo, que ofrece una carga de obleas totalmente automática de «caja a caja» (cassette-to-cassette) y un mecanismo de limpieza basado en grabado in situ. La combinación de estas dos características tendrá un impacto significativo en el rendimiento.
Además, la tecnología de reactores por lotes aporta múltiples ventajas al sistema de Aixtron: su coste de producción por oblea se encuentra entre los más bajos del mercado actual, mientras que su rendimiento por unidad de área de sala limpia es el más alto. Al mismo tiempo, esta nueva herramienta cuenta con funciones precisas de control de flujo y temperatura, manteniendo una excelente uniformidad del material durante el funcionamiento continuo.
Fuente: ams OSRAM