MOCVD-System von AIXTRON von AMS OSRAM zertifiziert, beschleunigt die Massenproduktion von Micro LED
全球领先的光学解决方案供应商艾迈斯欧司朗和半导体行业沉积设备领先供应商爱思强近日联合宣布，200mm晶圆AIXTRON G5+ C和G10-AsP系统已获得艾迈斯欧司朗的认证，可用于满足Micro LED应用需求。
Die MOCVD-Systeme von AIXTRON, AIX G5+ C und das neue G10-AsP, bieten die Planetary Technology (Technologie der horizontalen Rotation mit schwebenden Planetensatelliten) und ebnen den Weg für hochauflösende Micro LED-Displays der nächsten Generation.
Berichten zufolge kündigte AMS OSRAM bereits im ersten Quartal 2022 einen Plan zum Ausbau der Produktionskapazität für 200-mm-Wafer an und erreichte die LED- und Micro LED-Produktionskapazität in seiner bestehenden Fabrik in Malaysia. MOCVD-Systeme sollen dazu beitragen, die Massenproduktion von Micro LEDs zu ermöglichen und Display-Anwendungen der nächsten Generation zu schaffen.
Robert Feurle, Executive Vice President und Leiter des Geschäftsbereichs Optoelektronische Halbleiter bei OSRAM erklärte:
Epiq und AMS OSRAM pflegen eine langfristige Partnerschaft; wir sind mit der Leistung und den Qualitätsstandards ihrer Geräte vertraut. Für anspruchsvolle Projekte, wie die Entwicklung und Produktion von Micro LED für AsP- und GaN-Bauelemente, ist Epiq genau der Partner, den wir benötigen.
Dr. Felix Grawert, CEO und Präsident von Cree Inc., fügte hinzu :
G10-AsP und AIX G5+ C haben erfolgreich die Zertifizierung von OSRAM erhalten, ein sehr wichtiger Meilenstein in der Geschichte unseres Unternehmens. OSRAM ist ein weltweit führender Hersteller von LEDs und voll in der Lage, die neue grundlegende Technologie auf den Markt zu bringen. Wir stehen vor einem großen Übergang von herkömmlichen Displaytechnologien zu neuen Micro LED-Displaytechnologien. Heute betritt Aixtron einen zukünftigen Wachstumsmarkt mit enormem Potenzial und hat einen idealen Partner an seiner Seite für den gemeinsamen Weg nach vorne.
Micro LED bietet erhebliche Vorteile, wie höhere Pixeldichte, längere Lebensdauer, höhere Leuchtdichte, schnellere Schaltgeschwindigkeiten und einen breiteren Farbraum , was die Displaytechnologie weiter voranbringt. Der geringe Energieverbrauch ist ebenfalls ein wichtiger Vorteil, der die Micro LED-Technologie ideal für Consumer-Elektronikgeräte der nächsten Generation mit kleineren Displays macht, bei denen in der Regel sehr wenig Platz für Batterien vorhanden ist.
Micro LED hat spezielle Produktionsanforderungen: Sein Massenproduktionsprozess umfasst einen speziellen Massentransfer-Schritt, bei dem Tausende von mikrogroßen LED-Chips (Arrays) aufgenommen und platziert werden. Jeder Defekt kann zu einer Nekrose der Pixel führen und das gesamte Array unbrauchbar machen. Daher muss ein nahezu fehlerfreier Epitaxie-Prozess verwendet werden, um Defekte zu minimieren, hohe Ausbeuten zu unterstützen und eine wirtschaftlich tragfähige Micro LED-Produktion zu ermöglichen.
据介绍，爱思强的新型G10-AsP外延工具经过精心设计，旨在满足这项应用的特殊需求。这项全新工具是世界首款全自动AsP反应器，提供全自动“检测盒到检测盒”(cassette-to- cassette)晶圆装载以及基于原位蚀刻的清洁机制。这两个特性结合在一起会对成品率产生显著影响。
Darüber hinaus bringt die Batch-Reaktortechnologie mehrere Vorteile für das Aixtron-System mit: Ihre Produktionskosten pro Wafer gehören zu den niedrigsten auf dem aktuellen Markt, während der Durchsatz pro Einheit Reinraumfläche am höchsten ist. Gleichzeitig verfügt dieses neue Werkzeug über präzise Fluss- und Temperatursteuerungsfunktionen und hält eine hervorragende Materialgleichmäßigkeit während des kontinuierlichen Betriebs aufrecht.
Quelle: ams OSRAM