نظام MOCVD من شركة AIXTRON حاصل على اعتماد من شركة AMS OSRAM، مما يعزز تسريع الإنتاج الضخم لـ Micro LED

全球领先的光学解决方案供应商艾迈斯欧司朗和半导体行业沉积设备领先供应商爱思强近日联合宣布，200mm晶圆AIXTRON G5+ C和G10-AsP系统已获得艾迈斯欧司朗的认证，可用于满足Micro LED应用需求。

توفر أنظمة MOCVD من شركة AIXTRON، وهي AIX G5+ C والجديد G10-AsP، تقنية Planetary Technology (تقنية دوران أفقي عائم على شكل قمر صناعي كوكبي)، ممهدة الطريق لشاشات العرض Micro LED عالية الدقة من الجيل القادم.

وفقًا للتقارير، أعلنت شركة آي إم إس أوسرام في الربع الأول من عام 2022 عن خطة لزيادة الطاقة الإنتاجية للرقائق ذات القطر 200 ملم، وتحقيق طاقة إنتاجية لمصابيح LED وMicro LED في مصنعها الحالي في ماليزيا. ومن المتوقع أن تساعد أنظمة MOCVD في تحقيق الإنتاج الضخم لمصابيح Micro LED، مما يخلق تطبيقات عرض جديدة الجيل.

روبرت فويرلي، نائب الرئيس التنفيذي ورئيس أعمال أشباه الموصلات البصرية في أوسرام قال:

الدكتور فيليكس غراويرت، الرئيس التنفيذي والرئيس لشركة كري أضاف :

يتميز Micro LED بمزايا كبيرة جداً، مثل كثافة بكسل أعلى، وعمر افتراضي أطول، ونصوع أعلى، وسرعات تبديل أسرع، وطيف ألوان أوسع ، مما يعزز تقنية العرض بشكل أكبر. يعد استهلاك الطاقة المنخفض ميزة مهمة أيضاً، مما يجعل تقنية Micro LED مثالية للأجهزة الإلكترونية الاستهلاكية من الجيل القادم المجهزة بشاشات أصغر، والتي عادة ما يكون لديها مساحة محدودة جداً للبطاريات.

يحتوي Micro LED على متطلبات إنتاج خاصة: تتضمن عملية الإنتاج الضخم خطوة نقل جماعي خاصة حيث يتم التقاط ووضع آلاف الرقائق LED (المصفوفات) بحجم الميكرومتر. أي عيب قد يؤدي إلى نخر البكسل، مما يجعل المصفوفة بأكملها غير صالحة للاستخدام. لذلك، يجب استخدام عملية نمو إبيتاكسي خالية تقريبًا من الأخطاء لتقليل العيوب، ودعم معدلات إنتاجية عالية، وتمكين إنتاج Micro LED اقتصاديًا.

وفقًا للمقدمة، تم تصميم أداة النمو الإبيتاكسي الجديدة من نوع G10-AsP من شركة إكستريك بعناية فائقة لتلبية الاحتياجات الخاصة بهذه التطبيق. تُعد هذه الأداة الجديدة بالكامل أول مفاعل AsP تلقائي بالكامل في العالم، حيث توفر تحميلًا تلقائيًا بالكامل للرقائق من «صندوق إلى صندوق» (cassette-to-cassette) وآلية تنظيف تعتمد على النقش في الموقع. إن الجمع بين هاتين الميزتين سيؤثر بشكل كبير على العائد.

علاوة على ذلك، تجلب تقنية المفاعلات الدفعية مزايا متعددة لنظام إيكسترون: حيث يقع تكلفة إنتاج كل رقاقة بين الأدنى في السوق الحالية، بينما يكون معدل الإنتاج لكل وحدة مساحة من الغرفة النظيفة في أعلى مستوى. وفي الوقت نفسه، تتميز هذه الأداة الجديدة بوظائف دقيقة للتحكم في التدفق ودرجة الحرارة، مما يحافظ على تجانس ممتاز للمادة أثناء التشغيل المستمر.

المصدر: أزمس أوسرام